近日，位于杭州富春灣新城的杭州富加鎵業(yè)科技有限公司首次成功制備出12英寸氧化鎵單晶，這一成果刷新了全球氧化鎵單晶尺寸的最高紀(jì)錄，也將為新能源汽車(chē)、新型儲(chǔ)能、智能電網(wǎng)、數(shù)據(jù)中心等前沿技術(shù)領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程提速。

在杭州富加鎵業(yè)科技有限公司的晶體生長(zhǎng)車(chē)間內(nèi)，可以看到，12英寸的氧化鎵單晶通體黝黑，呈圓錐狀，底部直徑達(dá)到305毫米。

富加鎵業(yè)12英寸氧化鎵單晶（直徑305mm）

氧化鎵是一種新一代超寬禁帶半導(dǎo)體材料，它所制備的功率電子器件，以其出色的電壓和電流承受能力，以及低導(dǎo)通損耗的特性，預(yù)示著廣闊的產(chǎn)業(yè)發(fā)展前景。目前在全球范圍內(nèi)，這一領(lǐng)域已成為各方競(jìng)相布局的戰(zhàn)略要地。然而長(zhǎng)期以來(lái)，受自身物理特性限制，氧化鎵單晶在向大尺寸延伸時(shí)極易出現(xiàn)雜晶、開(kāi)裂等問(wèn)題，因此從8英寸到12英寸，并非簡(jiǎn)單的尺寸放大，而是一次產(chǎn)業(yè)層面的戰(zhàn)略性飛躍。

黃浩天表示，氧化鎵為單斜晶體結(jié)構(gòu)，各向異性極強(qiáng)，晶體生長(zhǎng)過(guò)程中，微小擾動(dòng)就會(huì)導(dǎo)致結(jié)晶困難、產(chǎn)生雜晶，且晶體尺寸越大，生長(zhǎng)控制難度越高。為此，公司在設(shè)計(jì)階段采用數(shù)值模擬技術(shù)，精準(zhǔn)匹配氧化鎵晶體生長(zhǎng)規(guī)律；同時(shí)研發(fā)了自主可控的生長(zhǎng)裝備，對(duì)爐內(nèi)工藝參數(shù)與運(yùn)動(dòng)狀態(tài)實(shí)現(xiàn)高精度調(diào)控。

杭州富加鎵業(yè)科技有限公司成立于2019年，是一家從事氧化鎵單晶材料襯底及外延片研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。

多年來(lái)，該企業(yè)持續(xù)攻克技術(shù)難題，推動(dòng)氧化鎵產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。2026年1月，企業(yè)打造的國(guó)內(nèi)首條6英寸氧化鎵單晶及外延片生長(zhǎng)線(xiàn)已經(jīng)正式完成竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收，這標(biāo)志著企業(yè)萬(wàn)片級(jí)6/8英寸氧化鎵產(chǎn)線(xiàn)已完全具備規(guī)?；a(chǎn)的環(huán)保資質(zhì)，正式邁入量產(chǎn)新階段。

國(guó)家“十五五”規(guī)劃綱要明確提出，要“推動(dòng)氧化鎵、金剛石等超寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化發(fā)展”，杭州富加鎵業(yè)科技有限公司此次12英寸氧化鎵單晶制備技術(shù)的突破，正是緊跟國(guó)家戰(zhàn)略部署，為我國(guó)發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力、搶占未來(lái)產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)制高點(diǎn)提供了堅(jiān)實(shí)的材料基礎(chǔ)支撐，也為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入了強(qiáng)勁的中國(guó)動(dòng)力。

下一步，該企業(yè)將攜手下游客戶(hù)一起開(kāi)展“襯底—外延—器件—模組”全鏈條協(xié)同攻關(guān)，助力我國(guó)高性能氧化鎵功率器件的全產(chǎn)業(yè)鏈貫通，加速氧化鎵高壓大功率電力電子器件產(chǎn)業(yè)的快速落地，早日實(shí)現(xiàn)“讓世界用上好材料”的愿景。

來(lái)源：富陽(yáng)發(fā)布